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磁控溅射金属膜 磁控溅射金靶的简单介绍

磁控溅射金属膜 磁控溅射金靶

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小型溅射仪
KT-Z1650PVD 是一款小型台式溅射功率可控磁控溅射仪,仪器虽小功能齐全,配备有电压 电流反
馈,样品台旋转,样品高度调节,及电动挡板功能。通过定时调节预溅射功率及薄膜沉积功率,可对
大部分金属进行均匀物理沉积,真空腔室为透明玻璃减少样品污染,样品台可旋转以获得更均匀的薄
膜,可制备各种金属薄膜。

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