《真空计四级质谱仪的定义与规范》意见征求

作者： 2020年04月28日来源：全球化工设备网浏览量：

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目前，四极质谱仪不仅用于真空中的泄漏检测和残余气体分析，而且还用在工艺和控制过程中提供定量分析的仪器。但由于气体的总压力、混合气体成分、四极质谱仪设置、环境条件等对测量信号及其不确定度和数据分析有重大

　　目前，四极质谱仪不仅用于真空中的泄漏检测和残余气体分析，而且还用在工艺和控制过程中提供定量分析的仪器。但由于气体的总压力、混合气体成分、四极质谱仪设置、环境条件等对测量信号及其不确定度和数据分析有重大影响，因此不能对所有四极质谱仪进行校准。实际使用时，要么在实际使用条件下进行校准，要么在指定条件下进行校准，因此需要进行对四极质谱仪进行标准化定义和规范指导。

　　近期，《真空计四级质谱仪的定义与规范》已经编制完成，并正面向社会征求意见。据悉，该标准是兰州空间技术物理研究所、安徽皖仪科技股份有限公司、安徽歌博科技有限公司、湖南维格磁流体股份有限公司、惠州飞凯新材料有限公司、沈阳真空技术研究所有限公司在中国机械工业联合会的主管下，遵循“面向市场、服务产业、自主制定、适时推出、及时修订、不断完善”的原则，依据GB/T 1.1-2009《标准化工作导则第1部分：标准的结构和编写》编写结构、编排内容共同起草的。

　　阅读《真空计四级质谱仪的定义与规范》征求意见稿后可知，标准适用于配备了电子轰击型离子源的四极质谱仪。这样的四极质谱仪通常用于测量质荷比(m/z)小于300的物质。配有其它类型的离子源，如化学电离、光电离、场致电离等，以及主要用于检测质荷比(m/z)大于300的特定有机材料的四极质谱仪，不在本标准的范围内。

　　本标准定义了与四极质谱仪相关的术语，并规定了制造商说明书中需要的参数，用于正常的校准和保证分压力测量质量；明确了四级质谱仪的原理是正离子在离子源中产生。这些离子加速飞向滤质器，其由四个对称排列的具有方形横截面的双曲柱形杆或棒组成，施加在四级杆上的直流和射频组合电压通过质荷比不同来分离由四极质谱仪检测器检测到的这些离子；并表明为确保用户在使用四级质谱仪时能最大限度的减少测量误差并提供安全操作指导，制造商应给出质量范围、离子源类型、离子检测器类型、质量分辨率、灵敏度、线性响应范围、扫描参数、电位、传感器头和电控单元的质量等功能和技术规范。

　　本标准的制定，为四极质谱仪提供了与国际上一致的的定义与规范，填补了国内空白，这不仅有利于提升我国四极质谱仪产品的国际竞争力，也有利于使用者在综合考虑国内外产品性能时，提供技术支撑。为此，希望相关单位能在仔细研核后提出相关建设性意见。

　　更多详情请点击：《真空计四级质谱仪的定义与规范》征求意见稿

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标签：真空计四级质谱仪电子轰击型离子源

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