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模块化设计

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  • 真空腔室的模块化设计和加工(2013-11-26)

    该设备属生产设备,主要功能包括:钛/锆磁控溅射镀装饰膜,反应膜、复合膜。其它功能还包括:行星旋转基片台、负偏压辅助沉积、PLC+HMI真空自动/手动控制、水冷循环及断水保护系统,预留多个标准接口。…[详情]

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