等离子表面处理仪的简单介绍

等离子表面处理仪的详细信息

清洗机清洗原理：

清洗机产生的等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特殊的情况下有第四种状态存在，如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质：处于高速运动状态的电子；处于激活状态的中性原子、分子、原子团（自由基）；离子化的原子、分子；未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。

清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体，通过等离子体轰击被清洗产品表面，从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的。

清洗机技术参数：

清洗机配置清单：

• 主机 1台
• 真空泵 1台
• 真空软管 1根
• 舱内托盘 1块
• 电源线 2根
• 备件保险管 4个
• 说明书 1本
• 合格证 1份
• 保修单 1份

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