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产地:河北保定清苑区发展西街320号

规格:HWGK0133X-18

公司所在地:河北保定

电话:17325290682

3341903073  
详细信息

投影光刻机 光刻机 芯片光刻机 元器件光刻机 光刻胶测试的简单介绍

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投影光刻机 光刻机 芯片光刻机 元器件光刻机 光刻胶测试的详细信息

HWGK0133X-18紫外线光刻箱,配备电子电源无级,主要用于光刻胶测试,中小规模集成电路、半导体元器件、光电子器件、声表面波器件、薄膜电路、电力电子器件的研制和小批量生产测试。无紫外线泄露,保护人体不受紫外线伤害的UV光刻箱,自动旋转托盘,全方位多角度平行光照射,无照射盲区

设备组成

UV光源+光刻+自动转盘+电源控制器

采用模块型设计

采用模块型设计,可手持、固定、箱式使用。

UV灯头

包含一个长寿命的高压汞灯,发射出UVA300-400nm),主光强度分布均匀。灯泡寿命为1000小时。

UV光刻

设备包含光刻箱,带有箱门,开关方便,在元件的光刻过程中,能够保护用户免受紫外辐射。

内置遮光型手动快门(工作时无紫外线泄露)
设备集成可伸缩遮光型手动快门,确保光刻的优良重复性,保护用户开关光刻箱门时免受紫外辐射。

可调速自动旋转托盘

设备集成可调速自动旋转托盘,光刻效果更好,更彻底

无级变光(光强可调)

灯管发光强度可以40%~100%,无级调节灯光强度,特别适合科研和工业生产。

反光内壁

光刻箱内有反光的内壁结构以及优化设计的反光镜,达到均匀照射效果。

强制风冷系统

光源、电源、光刻箱都集成冷却风扇,使得系统在散热良好的环境工作,增加了系统可靠性。

类别

尺寸

外型尺寸(L×W×H

615×415×615mm

光刻箱内(L×W×H

330×345×330mm

灯管

灯管名称

高压汞灯

功率

450~1700W 无级

极限功率密度

<250mw/cm2

波峰值

365nm

曝光面积:

≥φ150mm

旋转托盘

功率

10W

低速度

1/分钟

高速度

6/分钟

箱内托盘

360度旋转,速度可调

电源

电源需求

220V

整机功率

1800W

重量

光刻箱体

29KG

电源箱

4KG

灯箱

5KG

总重量

38KG


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