“高固有频率纳米膜压阻加速度传感器研究”项目获立项

　　日前，沈阳仪表研究院与沈阳工业大学联合申报的“高固有频率纳米膜压阻加速度传感器研究”项目获得国家自然科学基金委员会立项批复，项目总经费78万元。

　　该项目由沈阳仪表研究院与沈阳工业大学联合申报，执行年限为2014年1月至2017年12月。该项目将设计一种MEMS加速度传感器，带有主梁和超薄敏感微梁，主要基于纳米功能材料来实现。

　　该MEMS加速度传感器的灵敏度和温度特性大大得到提升，主要得益于纳米膜压阻微梁之超常的机械特性，以及良好的压阻特性。目前加速传感器中普遍存在着谐振频率与灵敏度相互制约的难题，而如何解决这一难题成为业内的一大挑战。该项目将通过对该敏感结构之主梁和微梁的合理设计，解决该难题，并实现均衡提高固有谐振频率和灵敏度。

　　利用纳米膜压阻微梁之超常的机械特性和良好的压阻特性，提高灵敏度，改善温度特性；通过对该敏感结构之主梁和微梁的合理设计，解决加速度传感器中普遍存在的谐振频率与灵敏度相互制约的难题，达到均衡提高固有谐振频率和灵敏度的目的；突破微梁加工和芯片钝化、封装等关键技术，研制出新型加速度传感器样品，并最终验证这种压阻加速度传感器的可行性及优势。

　　该项目的开展可望在隧道压阻效应、纳米复合膜微梁力学特性以及新型加速度传感器技术等方面的研究中获得创新性成果。在传感技术日益受到高度重视的背景下，这些成果将具有广阔的应用前景。

　　研究人员将突破微梁加工和芯片钝化、封装等关键技术，研制出新型加速度传感器样品，并对其可行性和优势进行验证。该项目对于推进我国在隧道压阻效应、纳米复合膜微梁力学特性以及新型加速度传感器技术等方面的研究具有重要意义，并为更深入和广阔的应用提供了可能。

　　国产传感器的发展起步没有国外早，尤其是国外一些高端技术的传感器，有些甚至目前在我国都没有那种技术去实现。但是随着传感器应用范围的扩大，我国有且需要技术精湛的人员去开发。