白光干涉仪在3D检测行业的发展前景

白光干涉仪目前在3D检测领域是精度最高的测量仪器之一，在同等系统放大倍率下检测精度和重复精度都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜，在一些纳米级和亚纳米级的超精密加工领域，除了白光干涉仪，其它的仪器无法达到其加工精度要求。
    白光干涉三维形貌仪是利用光学干涉原理研制开发的超精密表面轮廓测量仪器。照明光束经半反半透分光镜分成两束光，分别投射到样品表面和参考镜表面。从两个表面反射的两束光再次通过分光镜后合成一束光，并由成像系统在CCD相机感光面形成两个叠加的像。由于两束光相互干涉，在CCD相机感光面会观察到明暗相间的干涉条纹。干涉条纹的亮度取决于两束光的光程差，根据白光干涉条纹明暗度以及干涉条文出现的位置解析出被测样品的相对高度。
光学干涉测量法作为一种重要的非接触表面三维形貌测量手段，一直是国内外高精度测量领域的研究热点。基于干涉原理的光学表面三维形貌检测方法发展很快，其精度和测量范围都达到了很高的指标。基于移相干涉算法（PSI）的光学表面形貌检测仪多以激光为光源，精度可优于1nm，测量范围在微米量级。在市场需求的推动下，用于工业生产的白光干涉仪干涉仪向小型化发展，并且对仪器的抗干扰能力、操作简便性、测量精度、横向与纵向测量范围都提出了更高的要求。因此本作品作为一种成本低、功能强的专用型表面微观形貌检测仪器，具有很好的发展前景。