电子工业用气体氩技术指标 GB/T 16945-1997
作者： 2018年02月05日 来源：全球化工设备网 浏览量：
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项目指标氩纯度，10-2，≥99.9992氢含量，10-6，≤1氮含量，10-6，≤5氧含量，10-6，≤0.5一氧化碳和二氧化碳含量，10-6，≤0.5总烃（以甲烷计）含量，10-6，≤0.5水分含量，10-6，≤0.5颗粒供需双方商定试验方法：1
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项目 |
指标 |
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氩纯度，10-2，≥ |
99.9992 |
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氢含量，10-6，≤ |
1 |
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氮含量，10-6，≤ |
5 |
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氧含量，10-6，≤ |
0.5 |
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一氧化碳和二氧化碳含量，10-6，≤ |
0.5 |
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总烃（以甲烷计）含量，10-6，≤ |
0.5 |
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水分含量，10-6，≤ |
0.5 |
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颗粒 |
供需双方商定 |
试验方法：
1 氢和氮含量的测定：
1.1 方法：采用配备氦离子化检测器的气相色谱仪测定氩中的氢和氮。
1.2 检测限：氢0.1×10-6(V/V)；氮0.5×10-6(V/V)
1.3 仪器参数
1.3.1 色谱柱：将色谱分析用粒度为0.25～0.40mm的5A分子筛装入内径4mm，长约3m的不锈钢管内，于300℃通氩气活化3h。或采用等效色谱柱。
1.3.2 载气：约30mL/min氦气，氦气中杂质含量比待测组分含量低一个数量级。
1.3.3 样品体积：1.0～3.0mL。
1.3.4 温度：检测器及柱加热箱均为室温。
1.3.5 标样：含1～5×10-6(V/V)氢的氩，含5～25×10-6(V/V)氮的氩。
1.4 操作步骤
1.4.1 用气体进样阀进标样。
1.4.2 用同样方法进待测样品。
1.4.3 重复上述两条，取两次平行测定结果的算术平均值为测定结果，单个值与平均值的相对偏差不得大于10%。
1.4.4 比较标样峰和试样峰的平均面积，用下式分别计算氢和氮的含量，其结果不得超过本标准的上表规定值。
φi=(φs-Ai)/As
式中：φi－－样品气中的待测组分i的含量，10-6(V/V)；
φs－－标准气中的组分i的含量，10-6(V/V)；
Ai－－样品气组分i的峰面积，mm2(V/V)；
As－－标样气组分i的峰面积，mm2(V/V)；
当半峰宽不变时可用峰高定量。
1.1 方法：采用配备氦离子化检测器的气相色谱仪测定氩中的氢和氮。
1.2 检测限：氢0.1×10-6(V/V)；氮0.5×10-6(V/V)
1.3 仪器参数
1.3.1 色谱柱：将色谱分析用粒度为0.25～0.40mm的5A分子筛装入内径4mm，长约3m的不锈钢管内，于300℃通氩气活化3h。或采用等效色谱柱。
1.3.2 载气：约30mL/min氦气，氦气中杂质含量比待测组分含量低一个数量级。
1.3.3 样品体积：1.0～3.0mL。
1.3.4 温度：检测器及柱加热箱均为室温。
1.3.5 标样：含1～5×10-6(V/V)氢的氩，含5～25×10-6(V/V)氮的氩。
1.4 操作步骤
1.4.1 用气体进样阀进标样。
1.4.2 用同样方法进待测样品。
1.4.3 重复上述两条，取两次平行测定结果的算术平均值为测定结果，单个值与平均值的相对偏差不得大于10%。
1.4.4 比较标样峰和试样峰的平均面积，用下式分别计算氢和氮的含量，其结果不得超过本标准的上表规定值。
φi=(φs-Ai)/As
式中：φi－－样品气中的待测组分i的含量，10-6(V/V)；
φs－－标准气中的组分i的含量，10-6(V/V)；
Ai－－样品气组分i的峰面积，mm2(V/V)；
As－－标样气组分i的峰面积，mm2(V/V)；
当半峰宽不变时可用峰高定量。
2 氧含量的测定
按GB/T6285执行。
仪器检测限：0.1×10-6(V/V)。
标样：氩中含氧1×10-6～5×10-6(V/V)。
按GB/T6285执行。
仪器检测限：0.1×10-6(V/V)。
标样：氩中含氧1×10-6～5×10-6(V/V)。
3 一氧化碳和二氧化碳含量的测定
按GB/T8984.1执行。
仪器检测限：0.1×10-6(V/V)。
标样：氩中含一氧化碳、二氧化碳1×10-6～2×10-6(V/V)。
按GB/T8984.1执行。
仪器检测限：0.1×10-6(V/V)。
标样：氩中含一氧化碳、二氧化碳1×10-6～2×10-6(V/V)。
4 总烃（以甲烷计）含量的测定
按GB/T8984.3执行。
仪器检测限：0.1×10-6(V/V)。
标样：氩中含甲烷1×10-6～2×10-6(V/V)。
按GB/T8984.3执行。
仪器检测限：0.1×10-6(V/V)。
标样：氩中含甲烷1×10-6～2×10-6(V/V)。
5 水分含量的测定
按GB/T5832.1或GB/T5832.2执行，两种方法具有同等效力。
仪器检测限：0.2×10-6(V/V)，经相应检定规程检定合格。
按GB/T5832.1或GB/T5832.2执行，两种方法具有同等效力。
仪器检测限：0.2×10-6(V/V)，经相应检定规程检定合格。
（源自：中国流体机械网）
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