客户咨询：
紫外纳米压印光刻机
光电所自主研制成功紫外纳米压印光刻机(2016-04-06)
近日，中国科学院光电技术研究所微电子专用设备研发团队在微纳制作设备领域再次发力，自主研制成功紫外纳米压印光刻机，其成本仅为国外同类设备的三分之一，推进我国微纳实用制造水平迈上新的台阶。…[详情]
紫外纳米压印光刻机
光电所自主研制成功紫外纳米压印光刻机(2016-04-06)
近日，中国科学院光电技术研究所微电子专用设备研发团队在微纳制作设备领域再次发力，自主研制成功紫外纳米压印光刻机，其成本仅为国外同类设备的三分之一，推进我国微纳实用制造水平迈上新的台阶。…[详情]